Specificazione: Cilindro del gas di processo singolo, completamente automatico

modello: WF-GC100

Dimensioni speciali del gabinetto a gas: W550 larghezza x D500 profondità x H1800 alta

■ soffiaggio esterno: PN2, interfaccia MVCR 1/4"

Pompaggio sotto vuoto: GN2, interfaccia MVCR 1/4"

Valvola pneumatica a membrana: CDA azionato, 1/4" interfaccia manica della scheda

■ tubo di scarico VENT: interfaccia 1/2MCCR

Uscita gas di processo: interfaccia MVCR da 2, 1/4"

■ Dimensioni del pannello: 1/4 "pannello

Armadio a prova di esplosione e anticorrosione, porta autobloccante a prova di esplosione, finestra di osservazione di vetro a prova di esplosione, allarme di perdita, taglio remoto, allarme di sottotensione, materiale principale SS316L

Tasso di ventilazione dell'armadio: 4 "porta di scarico, 1200 volte/ora

■ Dimensioni dell'armadio di controllo: W550 largo x D230 profondo x H320 alto

Alimentazione elettrica del gabinetto di controllo: 220VAC, 50HZ, 200W, protezione da perdite

■ Interfaccia operativa: touch screen a colori da 7"

■ Opzionale: Monitor del peso della bombola del gas di processo, allarme di sovrapressione del gas di processo, riscaldamento del pannello e dispositivo di controllo della temperatura, segnale di allarme SMS e notifica del telefono

Campo di applicazione: Applicato in MOCVD PECVD、 La macchina per incisione e altre attrezzature di supporto sono adatte per industrie quali laboratori universitari, laboratori di analisi dei materiali, semiconduttori di chip, celle solari fotovoltaiche, ingegneria biofarmaceutica e nuovi materiali microelettronici.